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技術情報技術豆知識第3回 四象限高圧アンプ

 
図

最近、半導体製造におけるイオン注入やガス分解、核融合で使用されるジャイロトロンの制御といった環境で、高電圧を高速且つ正確に振動させる機能を持った高電圧アンプの要望が高まっています。しかし従来の電源ではこの高速応答性において、希望の波形でその電圧を振動させる(電圧の吸込み吐出し)ことや、オーバーシュート、波形の鈍りを抑えることが難しく、これらを要望する環境で十分な機能を発揮できる高圧電源がありませんでした。

図 Trekでは四象限高圧アンプといい、これらの環境で高速且つ正確に動くことができる高圧アンプを製造しています。この四象限アンプという言葉は、必ずしも一般的或いは耳慣れた表現で無いのではないかと思います。今回はこの四象限高圧アンプに関して記載します。