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製品一覧高圧電源ESC用電源 Model 645

Model 645
ESC用電源
 
 

 

 

本製品は静電チャック(ESC)用に開発された高圧電源ユニットです。
本製品により以下を行なう事が出来ます。

  • スループット向上の為に必要な電圧の最適波形を探す事が出来ます。

    PCからの操作によりウエハの最適な脱着条件を探す事が出来ます。
    ・印加電圧や波形、若しくは任意波形を用いて脱着を制御出来ます。

  • ウエハの状態をAMPからの信号で確認できます。

    ESCの下記の各状態をAMP側からのモニター信号で確認することができます。 ・プラテン上にウエハが存在しない状態
    ・プラテン上にウエハは存在するが吸着されていない状態
    ・プラテン上にウエハは存在し、且つ吸着されている状態
    更にウエハがプラテンからずれた状態もモニターすることができます。

  • 高圧電源のカスタマイズ

    ・クーロン力あるいはJ-R force (ジョンセン・ラーベック力)、それぞれの吸着力に応じた高圧電源部分を貴社仕様に応じてカスタマイズできます。吸着電圧は数100Vから3 kV程度まで自由に選択できます。
    ・定電圧駆動、または定電流駆動いずれにも対応できます。

  • 保護回路

    AMPの出力が動作中に短絡してもAMPは保護されます。

  • ノイズフィルタ内蔵

    ご希望により13.56 MHz等のプラズマ励起用信号を除去するフィルタを内蔵することができます。

  • モニター機能

    出力電圧及び出力電流を高精度で常時モニターすることが可能です。

  • デジタルインターフェース

    ご希望により、貴社詳細仕様に基づきデジタルインターフェース回路を追加できます。

 
 
仕様

電源

出力端子 Phase A及びPhase Bの2チャンネル出力
出力電圧 ±2kV
出力電流 各チャンネルに対して±6.5mA DC 又は 10mA AC peak
DC精度 2% [FS]