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製品一覧高圧電源ESCオプティマイザー Model 640

Model 640
ESCオプティマイザー
 
 

本製品は静電チャック(ESC)に印加する高電圧波形を最適化する為の高圧電源/表面電位計ユニットです。本製品により以下を行なう事が出来ます。

 
  • スループット向上の為に必要な電圧の最適波形を探す事が出来ます。

    PCからの操作によりウエハの最適な脱着条件を探す事が出来ます。
    ・印加電圧や波形、若しくは任意波形を用いて脱着及びプロセス中の出力を制御出来ます。
    ・プロセス中もしくは残留した表面電位を表面電位計でモニター出来ます。

  • ウエハの状態をAMPからの信号で確認できます。

    ESCの下記の各状態をAMP側からのモニター信号で確認することができます。
    ・プラテン上にウエハが存在しない状態
    ・プラテン上にウエハは存在するが吸着されていない状態
    ・プラテン上にウエハは存在し、且つ吸着されている状態
    更にウエハがプラテンからずれた状態もモニターすることができます。

  • 高圧電源のカスタマイズ

    ・クーロン力あるいはJ-R force (ジョンセン・ラーベック力)、それぞれの吸着力に応じた高圧電源部分を貴社仕様に応じてカスタマイズできます。
    吸着電圧は数100Vから3 kV程度まで自由に選択できます。
    ・定電圧駆動、または定電流駆動いずれにも対応できます。

  • 保護回路

    AMPの出力が動作中に短絡してもAMPは保護されます。

  • ノイズフィルタ内蔵

    ご希望により13.56 MHz等のプラズマ励起用信号を除去するフィルタを内蔵することができます。

  • モニター機能

    出力電圧及び出力電流を高精度で常時モニターすることが可能です。

  • デジタルインターフェース

    ご希望により、貴社詳細仕様に基づきデジタルインターフェース回路を追加できます。

 
 
仕様

電源

出力端子 Phase A及びPhase Bの2チャンネル出力
出力電圧 ±2kV
出力電流 各チャンネルに対して±5mA
スルーレート 15V/μsec以上
DC精度 0.1% [FS]

信号発生器

任意波形発生器 2chのアナログ出力
分解能 16bit
サンプリングレート 250kHz

表面電位計

測定レンジ ±2kV DC or AC peak
精度 アナログ出力 ±0.05% [FS]
ディスプレイ ±0.1% [FS]
応答速度 100μsec以下 (1KVステップ入力時10%〜90%)