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静電気モニタリングシステム
 

                     非防爆仕様 
 
  • 複数個所の静電気をコンピュータで一括監視し、測定するシステムであり、サンプリングした測定データをコンピュータへ取り込み、解析することが出来ます。
 
   
 
 
 
用途
・半導体製造
・LCD製造時での静電気監視
・種製造ライン上での静電気監視に最適
仕様
測定範囲 0〜±20,000V
精度 ±5%[FS]
(測定距離:40〜60mmの範囲内)
サンプリング時間
(最小値)
100msec
使用条件 温度:15〜35℃
湿度:〜80%結露なきこと
測定距離 30〜50mmの範囲内
オプション ピークホールド機能、
アラーム・アラーム履歴、
本体表示器、 その他多数有り