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製品一覧EOS/ESD 静電気関連製品表面電位モニター Model 541A-1

Model 541A-1
表面電位モニター

                      非防爆仕様 
 
  • 距離依存性が少なく、微小面積の測定が可能。
  • センサー部はサイドビュー、エンドビューの2種類ご用意。
  • アナログ、RS232C出力、警報出力機能、ピークホールド機能搭載。
  • USBポート搭載
 
 
 
用途
・半動体製造時の静電気監視に、また各種製造ライン上での静電気監視に最適。
仕様
測定電圧範囲 0〜±1,000V
(Model 541A-2:測定範囲0〜±100V)
モニター出力 電圧出力:0〜±10V(1/100)
電流出力:4〜20mA
精度 ±1%以下[FS]
応答速度 50ms(1KVステップ入力時10〜90%)
電源 15V DC、
又は100V AC(専用アダプター使用)
寸法 15.2cmW×10.2cmH×21.6cmD
重量 0.77kg
技術情報
表面電位計データ
静電気測定器表面電位計の解説
アプリケーションダウンロードページ(英文)
カタログダウンロードページ(英文)
Non-Contact Surface Charge/Voltage Measurements(英文)
Capacitive Probe - Principle of Operation(英文)