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製品一覧導電性セラミックSA509 ステージ用導電性セラミック

SA509 ステージ用導電性セラミック
 
  特徴
ピン型真空チャック
  • 静電気拡散性(1x108Ωcm)を有し、ガラスやウエハーの剥離時に帯電した表面電荷を逃がします。
  • 表面にピン状凹凸を設け、基板との接触面積を低減させる事により帯電量自体も低減させる事が出来ます。

ガラスの接触面積を1/20に低減します
微細孔型真空チャック
  • 0.2mmの微細幅の溝を表面に設ける事ができ、紙などの薄いシート基板の真空チャックに適用出来ます。

紙用チャックと溝の拡大写真
  • 鋳込み成形リブ軽量化も可能。
    最大サイズ :1550×1350×40mm
  • 摩耗、経年変化が殆ど無い高精度アルミナセラミックであり、リブ軽量化、組み合わせ大型化が可能です。

12枚鋳物定盤組合せて研磨仕上げ
 
8枚組合せの厚み相互差:5μm以下
 
 
仕様
品番
アルミナセラミックス
Alumina
SA509
比重  Density   3.5
吸水率 Water absorption % 0
硬度  Hardness GPa
(HV10)
12
曲げ強度 Bending strength MPa 270
ヤング率 Young’s modulus GPa 250
熱伝導率 Thermal conductivity w/m・K 16.7
熱膨張係数 Thermal expansion 10-6/℃ ; 5.2(-80〜100℃)
抵抗率 Electrical resistibility Ω・cm 108〜9
アルミナ純度 Content of Alumina % 約83%

※当データは、代表値であり保証値ではありません。