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有限会社IMP製品の取り扱い開始

弊社では新たに京大発のベンチャー企業である「有限会社IMP」の販売代理店を始めました。

 

1.粉粒体流動性試験装置

細管振動法による粉粒体の流動特性測定装置で、従来までの安息角測定法ではとらえる事の出来ない粉粒体の流動性を測定する事が出来る。 

 

2.カスケード式粉粒体接触帯電量測定装置

従来までのカスケード法の装置にさらに超微量定量供給装置を組み合わせる事により、一層の粉粒体の帯電評価を行う事ができ、さらに、別売のユニットにて初期電荷を自在にコントロールすることができ、粉粒の初期電荷をゼロにする事も可能。

 

3.粉粒体付着強度分布測定装置

気流による飛散現象を利用した粒子特性の評価装置。粒子と板材間、粒子と粒子間の付着強度分布の評価が可能。

 

4.粉粒体超微量定量供給装置

微小間隙における振動剪断流動を利用した新しい排出機構

mg/分の排出量の制御が可能

 

5.ファラデーケージ(カップ型、吸引型)

従来までのカップ型から独自の吸引型まで用意

 

6.小型電荷量測定器

電池駆動式、でコンパクトな電荷量測定装置

詳細は以下をご参照下さい
http://www.imp-co.jp/

   

Bench Mark Technologies社製品の取り扱い開始

弊社では新たにBench Mark Technologies社と代理店契約を締結いたしました。同社"E-Reticle"はレチクルに発生する静電気現象をリアルタイムでとらえるまさにレチクル用"In-Situ"静電気モニターです。ESDをレチクルレベルでモニタする装置として、また高価なレチクルをESDから保護する為の画期的なレチクル用"In-Situ"静電気モニタです。

製品ページ(英文):
http://www.benchmarktech.com/ereticle

   

株式会社日本生産技術研究所製品の取り扱い開始

弊社では株式会社日本生産技術研究所の代理店業務を緑屋電気株式会社と共に開始いたしました。PE CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)の装置では、長い歴史と、卓越した高性能を誇っております。またメインテナンス性に優れ、包括的に高いスループットを実現しています。成膜の均一性も素晴らしく、まさに世界第一級のPECVD装置です。

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株式会社フィルテック製品の取り扱い開始

弊社では新たに「株式会社フィルテック」の販売代理店を始めました。

半導体製造工程ではイオン注入、或いはプラズマエッチング、更にはCVD等々ウエハが製造過程で静電気的ダメージを受ける可能性がある工程がたくさんあります。

フィルテックでは、プラズマイオン等を捕捉するアンテナや、実際の回路素子に近似した部位からなるTEG (Test Element Group)をダミーウエハ内に複数個配置して、このダミーウエハを実際の各プロセスに通して頂き、回路素子がどれだけダメージを受けたか、或いはプラズマ補足用のアンテナの形状によって回路素子のダメージが変わるのかどうかを検証するダミーウエハと、ダメージ状況の解析技術を提供しております。

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Model PD11048 交直両用高圧アンプリファイア

本機は入力信号に対して任意波形を出力可能な高電圧アンプリファイアで最大1A peak(2ms)の大電流を出力可能な、高速駆動(60kHz)に特化した製品です。

弊社製品のMFCの駆動電源等に利用可能です。

 

仕様(概要)

出力電圧 :±800V 出力電流 :500mA DC or 1A peak
スルーレート :750V/μsec

 

キーワード

高電圧 アンプ 任意波形 ピエゾ ソナー MFC

参考ページ:
http://www.trekj.com/products/smart_material/index.html

   

ハンドヘルドフィールドメーター Model 511

ハンディタイプの高性能フィールドメータです。

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高速高圧アンプリファイア Model 2200 Series

高速高圧アンプリファイア

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ESCオプティマイザー Model 640

静電チャック(ESC)に印加する高電圧波形を最適化する為の高圧電源/表面電位計ユニットです。

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ESCオプティマイザー Model 645

静電チャック(ESC)に印加する高電圧波形を最適化する為の高圧電源ユニットです。

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静電気力顕微鏡 Model 1100TN

空間分解能10μmを有しながら数mm2もの広範囲を走査可能な表面電位計測システム

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